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动态误差补偿

机械精度补偿,消除系统缺陷

运动系统,即使是非常高精度的运动系统,也会受到制造公差导致的机械缺陷或不规范环境导致的热敏感性的影响。这些缺陷可通过外部测量设备(如激光干涉仪、视觉系统或带模拟量输出的热传感器)进行测量,并存储在误差表中。无论运动平台是运动还是静止状态,ACS 运动控制器具有复杂的误差表补偿功能,可提高运动平台的精度。

主要功能

  • 补偿平台对齐、直线度、平面度、正交和热误差
  • 基于表格或公式的补偿
  • 一维、二维和三维误差表
  • 同时应用多个误差表
  • 在测量点之间进行线性插值或使用高阶函数插值
  • 对龙门和其他多轴系统进行测绘
一维、二维和三维补偿地图表

市场

加速运动控制解决方案革新,驱动高科技设备创新

ACS Motion Control 自成立以来,一直致力于解决先进半导体过程控制中的精密运动控制难题。如今,我们很荣幸能为多个高科技细分市场的设备制造商提供运动控制系统解决方案。

半导体

超精确、高速运动协调

电子产品

紧凑、合规、高可靠性的控制解决方案

激光加工系统

超精确、高速运动协调

生物医学

关键光束定位的纳米级稳定性

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