NanoPWM

先进的伺服驱动和算法技术可实现亚纳米精度

包括检测、计量和混合键合系统在内的高端半导体设备需要纳米级定位。尽管线性放大器的功率效率较低，但由于其动态范围和线性度较高，在这些应用中一直被用来替代 PWM 放大器。  

NanoPWM 伺服驱动技术具有 PWM 放大器的优势，同时达到或超过线性放大器的运动性能。这使得原始设备制造商为高吞吐量应用设计的带有精密运动平台的设备能够实现高速/高加速和纳米级定位。

主要优势

• 实现纳米到亚纳米静止抖动  
• 实现较低的匀速误差 
• 与线性放大器驱动相比，可靠性更高，功率密度更大 
• 实现较高的平台速度和加速度，最大限度地提高吞吐量 
• 最大限度地提高交叉滚子轴承平台和空气轴承平台的性能