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适用于高级加工的高精度运动和激光控制

高精度激光加工系统要求运动控制解决方案能够提供卓越的吞吐量、微米至亚微米级精度以及严格的同步激光触发。无论是玻璃通孔 (TGV) 或硅通孔 (TSV) 钻孔、直写光刻、激光直接成像 (LDI)、PCB/FPCB 切割还是三维微加工,这些应用都需要先进的伺服控制、复杂的轨迹规划以及精确的运动与加工同步。 

ACS Motion Control 在先进的伺服和基于人工智能的控制算法、基于 EtherCAT 的多轴控制系统、运动与加工同步以及高性能伺服驱动电子设备等方面拥有独特的综合能力,能够帮助激光加工系统原始设备制造商满足或超越机器性能要求,并快速将高端设备推向市场。 

主要激光加工应用

  • TGV 和 TSV 钻孔 
  • 薄膜图形化 
  • 精密平板切割 
  • Micro-LED巨量转移 
  • 晶圆划片与退火 
  • 支架切割 
  • PCB 和 FPCB 钻孔和切割 
  • 三维微加工 
  • 激光直接成像 
  • PCB 和 FPCB 切割和钻孔 

精密运动平台控制专业技术

  • 直线电机平台 
  • 直驱旋转平台 
  • XY 级、XYZ 级、XYZT 级 
  • XY 龙门平台  
  • Z 音圈平台 
  • 精密伺服和步进滚珠丝杠平台 

ACS核心技术实力

激光加工应用的核心能力

XL SCAN

运动平台和振镜扫描仪联动控制

动态误差补偿

机械精度补偿,消除系统缺陷

自动对焦

动态自动对焦算法可最大限度地减少跟踪误差,实现最佳对焦效果

ServoBoost和ServoBoost Plus

利用独特的伺服算法提高运动系统性能

更智能的龙门控制

先进的 MIMO(多输入多输出)龙门控制算法

市场

加速运动控制解决方案革新,驱动高科技设备创新

ACS Motion Control 自成立以来,一直致力于解决先进半导体过程控制中的精密运动控制难题。如今,我们很荣幸能为多个高科技细分市场的设备制造商提供运动控制系统解决方案。

半导体

超精确、高速运动协调

电子产品

紧凑、合规、高可靠性的控制解决方案

激光加工系统

超精确、高速运动协调

生物医学

关键光束定位的纳米级稳定性

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